掃描電子顯微鏡在繼承了Phenom（飛納）產(chǎn)品操作方便、30秒快速成優(yōu)質(zhì)圖像、售后無(wú)憂(yōu)等優(yōu)點(diǎn)的同時(shí)，電鏡分辨率和圖像質(zhì)量顯著提高。采用了壽命高達(dá)1500小時(shí)的新一代CeB6燈絲和分辨率更高，功能更全的光學(xué)顯微鏡，提高后的光學(xué)顯微鏡有聚焦功能，放大倍數(shù)在20-120倍之間，具備明場(chǎng)和暗場(chǎng)兩種模式。
掃描式電子顯微鏡的工作原理如下：
樣品準(zhǔn)備：待觀(guān)察樣品通常需要進(jìn)行預(yù)處理，如表面平整化、金屬涂覆等，以提高導(dǎo)電性并增強(qiáng)圖像清晰度。
掃描：電子束在樣品表面上進(jìn)行掃描，從而激發(fā)出次級(jí)電子、反射電子（SE）和背散射電子（BSE）等。
電子源：SEM使用一臺(tái)電子槍作為電子源，產(chǎn)生高能電子束。常用的電子源包括熱陰極或場(chǎng)發(fā)射陰極。
透鏡系統(tǒng)：電子束經(jīng)過(guò)一系列電磁透鏡的聚焦和控制，以獲取所需的束斑直徑和聚焦深度，從而控制樣品的放大倍數(shù)和分辨率。
探測(cè)器：根據(jù)所采集到的次級(jí)電子、反射電子和背散射電子等信息，使用相應(yīng)的探測(cè)器進(jìn)行信號(hào)檢測(cè)和轉(zhuǎn)換。
影像處理：通過(guò)對(duì)采集到的信號(hào)進(jìn)行放大、濾波和數(shù)字化處理，最終生成樣品表面的圖像。
掃描式電子顯微鏡在材料科學(xué)、生物學(xué)、納米技術(shù)、電子電器工程等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。它可以用于研究材料的微觀(guān)結(jié)構(gòu)、形貌表征、納米顆粒分析、故障分析、半導(dǎo)體芯片檢測(cè)、生物標(biāo)本觀(guān)察等。
