高分辨率臺(tái)式掃描電鏡的特點(diǎn)和功能
高分辨率臺(tái)式掃描電鏡是一款使用高亮度燈絲的高分辨臺(tái)式掃描電鏡。放大倍數(shù) 130，000倍，用于觀察納米或者亞微米樣品的微觀結(jié)構(gòu)，基于高亮度燈絲和全新的聚焦系統(tǒng)的分辨率輕松達(dá)到14nm，同時(shí)具有全自動(dòng) 操作，15秒快速抽真空、不噴金觀看絕緣體、2-3年更換燈絲等特點(diǎn)。
（1）高分辨率臺(tái)式掃描電鏡體型小巧，占用空間小；（2）強(qiáng)大的軟件功能，單窗口操作界面讓用戶操作方便簡(jiǎn)單；（3）軟件實(shí)現(xiàn)檢測(cè)圖形實(shí)時(shí)存儲(chǔ)；（4）
高分辨率臺(tái)式掃描電鏡產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔，易于維護(hù)及保 養(yǎng)；（5）自動(dòng)平臺(tái)采用中心定位模式，迅速定位待測(cè)樣品；（6）高低壓真空設(shè)計(jì)，可調(diào)式電壓，為不同樣品提供更合適的檢測(cè)環(huán)境。
高分辨率臺(tái)式掃描電鏡可用于測(cè)量亞微米或納米尺度的樣品；從試表面形貌獲得多方面資料，在掃描電鏡中，不僅可以利用入射電子和試樣相互作用產(chǎn)生各種信息來(lái)成象，而且可以通過(guò)信號(hào)處理方法，獲得多種圖象 的特殊顯示方法，還可以從試樣的表面形貌獲得多方面資料。因?yàn)閽呙桦娮酉蟛皇峭瑫r(shí)記錄的，它是分解為近百萬(wàn)個(gè)逐次依此記錄構(gòu)成的。因而使得高分辨率臺(tái)式掃描電鏡除了觀察表面形貌外還能進(jìn)行成分和元素的分 析，以及通過(guò)電子通道花樣進(jìn)行結(jié)晶學(xué)分析，選區(qū)尺寸可以從10μm到3μm。
由于
高分辨率臺(tái)式掃描電鏡具有上述特點(diǎn)和功能，所以越來(lái)越受到科研人員的重視，用途日益廣泛。現(xiàn)在掃描電鏡已廣泛用于材料科學(xué)（金屬材料、非金屬材料、納米材料）、冶金、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體材料與器 件、地質(zhì)勘探、病蟲害的防治、災(zāi)害（火災(zāi)、失效分析）鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等。
